芯片生產微環境(mini environment)設施
發佈日期：2020-07-17 流覽次數：176
微環境(mini environment) 被廣泛應用於8”以下芯片生產環境防護輔助。
公司於2004年從微環境專業廠商ASYST授權所有圖面與技術，開始生產芯片生產專用微環境。並於2006年嘗試將CFD(計算流體仿真技術)應用於微環境系統中， 提升產品對生產環境的保護保證能力。
公司先後供應蘇州和艦科技、上海天馬微電子等客戶，超過50台以上， 能應客戶需要客製化製作並搭配CFD進行優化，廣獲客戶信賴與認可。
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